Magnetic and Pressure Effects on E-H Mode Transition Power and El ectron Energy Distribution in Helical Antenna Coupled RF Plasma

待确认 10 由 Siway13 发布于 2024/11/26 14:03:57
DOI:10.1088/1361-6463/abff7a
作者:Chuansheng Wang,?Xin Lin,?Fei Li,?Xilong Yu
文献类型:期刊论文
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文献链接:https://doi.org/10.1088/1361-6463/abff7a
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