B. Goldenberg, A. Lemzyakov, V. Nazmov, E. Palchikov
{"title":"形成高对比度准直器和高纵横比抗散射网格的LIGA方法","authors":"B. Goldenberg, A. Lemzyakov, V. Nazmov, E. Palchikov","doi":"10.18799/24056537/2018/2/186","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В статье рассматриваются вопросы создания и применения высококонтрастных антискаттерных рентгеновских сеток для рентгеновской визуализации в диапазоне 20-200 КЭВ из Микрофокусных рентгеновских трубок. Структура решетки никеля высоко-аспект-коэффициента прототипа использована для того чтобы рассматривать удар решетки анти -- разброса на дирекционных картинах трубки рентгеновского снимка ИМА-2-150Д. Показано подавление рассеянного излучения и сужение схемы направленного излучения. Контраст прототипа никеля, по-видимому, недостаточен. В статье представлены методы LIGA для изготовления антискаттерных рентгеновских сеток из золота в Сибирском центре Синхротронного и Терагерцового излучения. Описан метод формирования резистивных сетчатых структур с использованием глубинной рентгеновской литографии и показаны тестовые структуры. В настоящее время идет Разработка технологии изготовления рентгеновских сеток против рассеяния.","PeriodicalId":21019,"journal":{"name":"Resource-Efficient Technologies","volume":"25 1","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2018-07-23","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"LIGA method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio\",\"authors\":\"B. Goldenberg, A. Lemzyakov, V. Nazmov, E. Palchikov\",\"doi\":\"10.18799/24056537/2018/2/186\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"В статье рассматриваются вопросы создания и применения высококонтрастных антискаттерных рентгеновских сеток для рентгеновской визуализации в диапазоне 20-200 КЭВ из Микрофокусных рентгеновских трубок. Структура решетки никеля высоко-аспект-коэффициента прототипа использована для того чтобы рассматривать удар решетки анти -- разброса на дирекционных картинах трубки рентгеновского снимка ИМА-2-150Д. Показано подавление рассеянного излучения и сужение схемы направленного излучения. Контраст прототипа никеля, по-видимому, недостаточен. В статье представлены методы LIGA для изготовления антискаттерных рентгеновских сеток из золота в Сибирском центре Синхротронного и Терагерцового излучения. Описан метод формирования резистивных сетчатых структур с использованием глубинной рентгеновской литографии и показаны тестовые структуры. В настоящее время идет Разработка технологии изготовления рентгеновских сеток против рассеяния.\",\"PeriodicalId\":21019,\"journal\":{\"name\":\"Resource-Efficient Technologies\",\"volume\":\"25 1\",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2018-07-23\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Resource-Efficient Technologies\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.18799/24056537/2018/2/186\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Resource-Efficient Technologies","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.18799/24056537/2018/2/186","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
LIGA method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio
В статье рассматриваются вопросы создания и применения высококонтрастных антискаттерных рентгеновских сеток для рентгеновской визуализации в диапазоне 20-200 КЭВ из Микрофокусных рентгеновских трубок. Структура решетки никеля высоко-аспект-коэффициента прототипа использована для того чтобы рассматривать удар решетки анти -- разброса на дирекционных картинах трубки рентгеновского снимка ИМА-2-150Д. Показано подавление рассеянного излучения и сужение схемы направленного излучения. Контраст прототипа никеля, по-видимому, недостаточен. В статье представлены методы LIGA для изготовления антискаттерных рентгеновских сеток из золота в Сибирском центре Синхротронного и Терагерцового излучения. Описан метод формирования резистивных сетчатых структур с использованием глубинной рентгеновской литографии и показаны тестовые структуры. В настоящее время идет Разработка технологии изготовления рентгеновских сеток против рассеяния.