用于80到130纳米之间的远紫外线(VUV)的镜子

F. Bridou, M. Cuniot-Ponsard, J. Desvignes
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摘要

在VUV(“真空紫外线”)的80 - 130 nm光谱范围内,材料既不透明,也不真正反射。很难制造光学系统,因此很难确定材料的光学常数。表中参考指数计算的反射率与实验反射率之间的差异使我们认为其中一些指数是不准确的。我们开发了一种实验方法,通过测量法向入射附近的反射率,作为波长的函数来确定光学常数。从这样确定的值,组件,如镜子或偏振器可以设计和实现。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
Miroirs pour l'UV lointain (VUV) entre 80 et 130 nm
Dans le domaine spectral entre 80 et 130 nm situe dans le VUV ("Vacuum Ultra-Violet"), les materiaux ne sont ni transparents, ni vraiment reflechissants. Il est difficile de realiser des systemes optiques et, en consequence, de determiner les constantes optiques des materiaux. Les ecarts entre la reflectivite calculee a partir des indices references dans les tables et la reflectivite experimentale nous ont conduits a penser que certains de ces indices n'etaient pas exacts. Nous avons developpe une methode experimentale de determination des constantes optiques a partir des mesures de reflectivite au voisinage de l'incidence normale, en fonction de la longueur d'onde. A partir des valeurs ainsi determinees, des composants tels que miroirs ou polariseurs peuvent etre concus et realises.
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