- Book学术

发布求助

文献互助智能选刊最新文献

Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granitsy = Condensed Matter and Interphases Pub Date : 2019-03-06 DOI:10.17308/KCMF.2019.21/716

Vladislav А. Dybov, Dmitrii V. Serikov, Galina S. Ryzhkova, A. I. Dontsov

{"title":"Роста и субструктура пленок ниобата лития","authors":"Vladislav А. Dybov, Dmitrii V. Serikov, Galina S. Ryzhkova, A. I. Dontsov","doi":"10.17308/KCMF.2019.21/716","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Проведены исследования начальных стадий роста пленок ниобата лития на Si в процессе ВЧМР, исследовано влияние условий ВЧМР и последующих обработок (ТО, ИФО, БТО) на структуру, субструктуру и ориентацию получаемых покрытий. Установлено, что начальные стадии роста пленок ниобата лития в процессе ВЧМР на подогретой до 550 °С Si подложке характеризуются островковым зарождением кристаллитов и последующей их коалесценцией. Показана возможность управления текстурой пленок ниобата лития в процессе ВЧМР в условиях воздействия плазмы ВЧ-разряда, путем изменения состава рабочего газа. Показан эффект ИФО в кристаллизации аморфных пленок состава ниобата лития, заключающийся в формировании однофазной нанокристаллической пленки ниобата лития, в процессе обработки на воздухе. \n \nИСТОЧНИК ФИНАНСИРОВАНИЯ \nИсследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ, проект № 18-33-00836. \n \n \nЛИТЕРАТУРА \n \nLu Y, Dekker P., Dawes J.M. Journal of Crystal Growth, 2009, vol. 311, pp. 1441-1445. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2008.12.035 \nPoghosyan A. R., Guo R., Manukyan A. L., Grigoryana S. G. SPIE, 2007, vol. 6698, pp. 1-5. https://doi.org/10.1117/12.734353 \nKadota M., Suzuki Y., Ito Y. Japanese Journal of Applied Physics, 2011, vol. 50, pp. 1-5. DOI: https://doi.org/10.1143/jjap.50.07hd10 \nHao L., Li Y., Zhu J., Wu Z., Wang J., Liu X., Zhang W. Journal of Alloys and Compounds, 2014, vol. 599, pp. 108-113. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2014.02.078 \nGupta V., Bhattacharya P., Yuzyuk Yu. I., Katiyar R. S. Mater. Res., 2004, vol. 19, N 8, pp. 2235-2239. https://doi.org/10.1557/jmr.2004.0322 \nTan S., Gilbert T., Hung C.-Y., and Schlesinger T. E. Phys. Lett., 1996, vol. 68, p. 2651. https://doi.org/10.1063/1.116270 \nShih W.-C., Sun X.-Y. Physica B: Condensed Matter, 2010, vol. 405, no. 6, pp. 1619–623. https://doi.org/10.1016/j.physb.2009.12.054 \nBarinov S. M., Belonogov E. K., Ievlev V. M., et al. DokladyPhysical Chemistry, 2007, vol. 412, no. 1, pp. 15-18. https://doi.org/10.1134/s0012501607010058 \nHansen P. J., Terao Y., Wu Y., York R. A., Mishra U. K., Speck J. S. Vac. Sci. Technol., 2005, vol. 23, № 1, pp. 162-167. https://doi.org/10.1116/1.1850106 \nSumets M., Ievlev V., Kostyuchenko A., Vakhtel V., Kannykin S., Kobzev A. Thin Solid Films, 2014, vol. 552, pp. 32–38. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.12.005 \nSeok-Won Choi, et al. The Korean Journal of Ceramics, 2000, vol. 6, no. 20, pp. 138-142. \nIevlev V. M., Soldatenko S. A., Kushhev S. B., Gorozhankin Ju. V. Inorganic Materials, 2008, vol. 44, no. 7, pp. 705-712. https://doi.org/10.1134/s0020168508070066 \nIevlev V. M., Turaeva T. L., Latyshev A. N., et al. The Physics of Metals and Metallography, 2007, vol. 103, no. 1, pp. 58-63. https://doi.org/10.1134/s0031918x07010073 \n","PeriodicalId":17879,"journal":{"name":"Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granitsy = Condensed Matter and Interphases","volume":"105 1","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2019-03-06","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granitsy = Condensed Matter and Interphases","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.17308/KCMF.2019.21/716","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

摘要

在hcmp过程中，对nabata锂薄膜生长的初始阶段进行了研究，研究了vcmp环境和后续处理(ito, ifo, bto)对涂层的结构、次级结构和方向的影响。确定初始阶段增长对比度ниобат锂过程和Si衬底ВЧМР加热到550°胰岛кристаллит诞生的特点以及随后коалесценц它们。在hcmp中，通过改变工作气体的组成，显示了控制nobat锂薄膜质地的能力。= =作用= = ifo作用于在空气中处理空气中形成单相纳米晶体薄膜的无定形锂薄膜。研究资金来源的财政支助下完成РФФИ№18 - 33 - 00836项目。文学Lu Y, Dekker P, Dawes J.M.， 2009年，vol, 311, pp。https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2008.12.035 Poghosyan a R, R, Guo。Manukyan a . L。Grigoryana s . g . SPIE 2007, vol 6698 pp - 1 - 5。铃木https://doi.org/10.1117/12.734353 Kadota M。Y。Ito Y日本Journal of Applied Physics, 2011 vol 50 pp - 1 - 5。DOI: https://doi.org/10.1143/jjap.50.07hd10你好L Li Y。朱,Wang J。J。,Wu Z, w (X, Zhang Journal of Alloys and Compounds, 2014 vol 599 pp - 108 - 113。https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2014.02.078 Gupta V, Bhattacharya P Yuzyuk Yu。我是Katiyar R. S. MaterRes, 2004年，vol, 19, N 8, pp, 2235-2239。https://doi.org/10.1557/jmr.2004.0322 Tan S, Gilbert T c Hung - Y。还有施利辛格T. PhysLett。1996年，vol, 68, p, 2651。w https://doi.org/10.1063/1.116270 Shih - C。太阳xyPhysica B:确认Matter, 2010年，vol, 405, no。六pp 1619 - 623https://doi.org/10.1016/j.physb.2009.12.054 Barinov s . M, Belonogov e K。Ievlev v M, et al .)。DokladyPhysical Chemistry, 2007年，vol, 412, no。1 pp 15-18https://doi.org/10.1134/s0012501607010058·汉森p . J Terao Y。Wu Y。York r . A . Mishra u K, Speck J . s . Vac系统。Sci。Technol。2005年vol。23,№1 pp - 162 - 167。https://doi.org/10.1116/1.1850106 Sumets M, Ievlev V。Kostyuchenko A、Vakhtel V Kannykin S。2014,vol Kobzev A Thin Solid Films 552 pp - 32 - 38。rainstone(李宇硕[rhee https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.12.005 Won崔,et al .)。韩国心理杂志，2000年，vol, 6号，no。20 pp 138-142Ievlev V. M, Soldatenko S. A, Kushhev S. B, Gorozhankin Ju。组织物质，2008年，vol, 44号，no。7 pp 705-712https://doi.org/10.1134/s0020168508070066 Ievlev v M, Turaeva t L。Latyshev a ., et al . N。2007年，《金属与金属图形》，《vol》，103,no。1 pp 58-63https://doi.org/10.1134/s0031918x07010073

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

查看原文本刊更多论文

Роста и субструктура пленок ниобата лития

Проведены исследования начальных стадий роста пленок ниобата лития на Si в процессе ВЧМР, исследовано влияние условий ВЧМР и последующих обработок (ТО, ИФО, БТО) на структуру, субструктуру и ориентацию получаемых покрытий. Установлено, что начальные стадии роста пленок ниобата лития в процессе ВЧМР на подогретой до 550 °С Si подложке характеризуются островковым зарождением кристаллитов и последующей их коалесценцией. Показана возможность управления текстурой пленок ниобата лития в процессе ВЧМР в условиях воздействия плазмы ВЧ-разряда, путем изменения состава рабочего газа. Показан эффект ИФО в кристаллизации аморфных пленок состава ниобата лития, заключающийся в формировании однофазной нанокристаллической пленки ниобата лития, в процессе обработки на воздухе. ИСТОЧНИК ФИНАНСИРОВАНИЯ Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ, проект № 18-33-00836. ЛИТЕРАТУРА Lu Y, Dekker P., Dawes J.M. Journal of Crystal Growth, 2009, vol. 311, pp. 1441-1445. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2008.12.035 Poghosyan A. R., Guo R., Manukyan A. L., Grigoryana S. G. SPIE, 2007, vol. 6698, pp. 1-5. https://doi.org/10.1117/12.734353 Kadota M., Suzuki Y., Ito Y. Japanese Journal of Applied Physics, 2011, vol. 50, pp. 1-5. DOI: https://doi.org/10.1143/jjap.50.07hd10 Hao L., Li Y., Zhu J., Wu Z., Wang J., Liu X., Zhang W. Journal of Alloys and Compounds, 2014, vol. 599, pp. 108-113. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2014.02.078 Gupta V., Bhattacharya P., Yuzyuk Yu. I., Katiyar R. S. Mater. Res., 2004, vol. 19, N 8, pp. 2235-2239. https://doi.org/10.1557/jmr.2004.0322 Tan S., Gilbert T., Hung C.-Y., and Schlesinger T. E. Phys. Lett., 1996, vol. 68, p. 2651. https://doi.org/10.1063/1.116270 Shih W.-C., Sun X.-Y. Physica B: Condensed Matter, 2010, vol. 405, no. 6, pp. 1619–623. https://doi.org/10.1016/j.physb.2009.12.054 Barinov S. M., Belonogov E. K., Ievlev V. M., et al. DokladyPhysical Chemistry, 2007, vol. 412, no. 1, pp. 15-18. https://doi.org/10.1134/s0012501607010058 Hansen P. J., Terao Y., Wu Y., York R. A., Mishra U. K., Speck J. S. Vac. Sci. Technol., 2005, vol. 23, № 1, pp. 162-167. https://doi.org/10.1116/1.1850106 Sumets M., Ievlev V., Kostyuchenko A., Vakhtel V., Kannykin S., Kobzev A. Thin Solid Films, 2014, vol. 552, pp. 32–38. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.12.005 Seok-Won Choi, et al. The Korean Journal of Ceramics, 2000, vol. 6, no. 20, pp. 138-142. Ievlev V. M., Soldatenko S. A., Kushhev S. B., Gorozhankin Ju. V. Inorganic Materials, 2008, vol. 44, no. 7, pp. 705-712. https://doi.org/10.1134/s0020168508070066 Ievlev V. M., Turaeva T. L., Latyshev A. N., et al. The Physics of Metals and Metallography, 2007, vol. 103, no. 1, pp. 58-63. https://doi.org/10.1134/s0031918x07010073

求助全文

通过发布文献求助，成功后即可免费获取论文全文。去求助

来源期刊

Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granitsy = Condensed Matter and Interphases

自引率

0.00%

发文量