简单MEMS系统中阻尼力的建模

K. Urbanowicz
{"title":"简单MEMS系统中阻尼力的建模","authors":"K. Urbanowicz","doi":"10.5604/12345865.1186348","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Streszczenie. w mikroukładach mechanicznych określanych skrótem mEmS występują pewne siły tłumiące. na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane. Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. w poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniem opisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie comsol multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowania numerycznego. Słowa kluczowe: mEmS, siły tłumiące, równanie reynoldsa, modelowanie, symulowanie DOI: 10.5604/12345865.1186348","PeriodicalId":9068,"journal":{"name":"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej","volume":"64 1","pages":"165-189"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2015-12-30","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"1","resultStr":"{\"title\":\"Modelowanie sił tłumiących występujących w prostych układach MEMS\",\"authors\":\"K. Urbanowicz\",\"doi\":\"10.5604/12345865.1186348\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Streszczenie. w mikroukładach mechanicznych określanych skrótem mEmS występują pewne siły tłumiące. na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane. Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. w poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniem opisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie comsol multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowania numerycznego. Słowa kluczowe: mEmS, siły tłumiące, równanie reynoldsa, modelowanie, symulowanie DOI: 10.5604/12345865.1186348\",\"PeriodicalId\":9068,\"journal\":{\"name\":\"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej\",\"volume\":\"64 1\",\"pages\":\"165-189\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2015-12-30\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"1\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.5604/12345865.1186348\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.5604/12345865.1186348","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 1

摘要

总结在被称为mEmS的机械微系统中存在一些阻尼力。在这类系统的设计阶段,必须准确估计这些力的值。如本工作所示,在低频操作的系统中,最重要的力将是与操作系统瓦片下的空气膜流出相关的粘性力。使用文献中已知的分析方法可以非常准确地估计这种强度。在接下来的工作中,将展示在实践中经常用于简单瓷砖的已知分析解决方案。还将使用所描述的分析解决方案和名为comsol multiphysics的专业程序进行简单的模拟。分析和数值测试将显示数值软件的有效性。关键词:mEmS,阻尼力,reynolds方程,建模,DOI模拟:10.5604/123455865.1186348
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
Modelowanie sił tłumiących występujących w prostych układach MEMS
Streszczenie. w mikroukładach mechanicznych określanych skrótem mEmS występują pewne siły tłumiące. na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane. Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. w poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniem opisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie comsol multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowania numerycznego. Słowa kluczowe: mEmS, siły tłumiące, równanie reynoldsa, modelowanie, symulowanie DOI: 10.5604/12345865.1186348
求助全文
通过发布文献求助,成功后即可免费获取论文全文。 去求助
来源期刊
自引率
0.00%
发文量
0
审稿时长
16 weeks
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
请完成安全验证×
copy
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
右上角分享
点击右上角分享
0
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术官方微信