直流溅射法制备双层Mo薄膜的半定量织构分析及极形研究

Suleyman Demirel Universitesi Fen Bilimleri Enstitusu Dergisi Pub Date : 2022-12-02 DOI:10.19113/sdufenbed.1117506

C. Yavru, M. Kaleli

{"title":"直流溅射法制备双层Mo薄膜的半定量织构分析及极形研究","authors":"C. Yavru, M. Kaleli","doi":"10.19113/sdufenbed.1117506","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Molibden (Mo) malzemesi benzersiz özellikleri sayesinde birçok farklı alanda kullanılmaktadır. İnce filmlerin doku analizleri sayesinde katmanlar arası arayüz durumlarının uyumluluğu araştırılmaktadır. Üretim parametrelerine ve sonrasında yapılan işlemlere göre filmlerin dokuları değişebilmektedir. Bu sebeple kullanım alanına bağlı olarak en uygun dokuya sahip Mo ince filmlerin \nüretilmesi için ideal üretim parametrelerinin belirlenmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, CIGS güneş gözesi uygulamalarında sıklıkla istenen BCC yapısında ve (110) düzlemindeki Mo ince filmler üretilebilmiştir. Üretim, Mo filmin alttaş yüzeyine tutunumunu ve elektriksel iletkenliğini iyileştirmek için çift katmanlı üretim stratejisi kullanılarak gerçekleştirilmiştir. Üretilen filmlerin SEM, AFM ve \nXRD sistemleri ile yüzey, topoğrafya ve yapı analizleri gerçekleştirilmiş ayrıca yarı kantitatif doku analizleri yapılarak kutup figürleri elde edilmiştir. Topoğrafik ve detaylı yapısal analiz sonuçları birbirleri ile ve literatürde var olan diğer çalışmalar ile kıyaslandığında bu çalışmada ortaya koyulan üretim parametrelerinin kullanılabilirliği gösterilmiştir.","PeriodicalId":30858,"journal":{"name":"Suleyman Demirel Universitesi Fen Bilimleri Enstitusu Dergisi","volume":" ","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-12-02","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Semi-Quantitative Texture Analysis and Investigation of Pole Figures of Bi-Layer Mo Thin Films Produced by DC Sputtering Method\",\"authors\":\"C. Yavru, M. Kaleli\",\"doi\":\"10.19113/sdufenbed.1117506\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Molibden (Mo) malzemesi benzersiz özellikleri sayesinde birçok farklı alanda kullanılmaktadır. İnce filmlerin doku analizleri sayesinde katmanlar arası arayüz durumlarının uyumluluğu araştırılmaktadır. Üretim parametrelerine ve sonrasında yapılan işlemlere göre filmlerin dokuları değişebilmektedir. Bu sebeple kullanım alanına bağlı olarak en uygun dokuya sahip Mo ince filmlerin \\nüretilmesi için ideal üretim parametrelerinin belirlenmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, CIGS güneş gözesi uygulamalarında sıklıkla istenen BCC yapısında ve (110) düzlemindeki Mo ince filmler üretilebilmiştir. Üretim, Mo filmin alttaş yüzeyine tutunumunu ve elektriksel iletkenliğini iyileştirmek için çift katmanlı üretim stratejisi kullanılarak gerçekleştirilmiştir. Üretilen filmlerin SEM, AFM ve \\nXRD sistemleri ile yüzey, topoğrafya ve yapı analizleri gerçekleştirilmiş ayrıca yarı kantitatif doku analizleri yapılarak kutup figürleri elde edilmiştir. Topoğrafik ve detaylı yapısal analiz sonuçları birbirleri ile ve literatürde var olan diğer çalışmalar ile kıyaslandığında bu çalışmada ortaya koyulan üretim parametrelerinin kullanılabilirliği gösterilmiştir.\",\"PeriodicalId\":30858,\"journal\":{\"name\":\"Suleyman Demirel Universitesi Fen Bilimleri Enstitusu Dergisi\",\"volume\":\" \",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2022-12-02\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Suleyman Demirel Universitesi Fen Bilimleri Enstitusu Dergisi\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.19113/sdufenbed.1117506\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Suleyman Demirel Universitesi Fen Bilimleri Enstitusu Dergisi","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.19113/sdufenbed.1117506","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

摘要

由于分子的特殊性质，该分子被用于几个不同的领域。其思想是通过文献分析来研究层之间界面的一致性。根据生产参数和后续工艺，可以改变薄膜的触感。因此，有必要为制作在使用区域中具有最合适文档的小Mo电影指定理想的制作参数。在这项研究中，CIGS太阳能监测器是在其平台上生产的，具有经常要求的BCC结构和（110）软Mo膜。此外，Mo薄膜已采用双层生产策略，以改善下表面的维护和电力通信。Üretilen filmlerin SEM，AFM ve XRD系统，topoğrafya ve yapıanalizleri gerçekleştirimişayrıca yarıkantitatif doku analizliri yapşlarak kutup figürleri elde edilmiştir。与其他图表和结构分析细节研究相比，本研究中显示的生产参数的可用性与文献中的其他研究相比有所不同。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

查看原文本刊更多论文

Semi-Quantitative Texture Analysis and Investigation of Pole Figures of Bi-Layer Mo Thin Films Produced by DC Sputtering Method

Molibden (Mo) malzemesi benzersiz özellikleri sayesinde birçok farklı alanda kullanılmaktadır. İnce filmlerin doku analizleri sayesinde katmanlar arası arayüz durumlarının uyumluluğu araştırılmaktadır. Üretim parametrelerine ve sonrasında yapılan işlemlere göre filmlerin dokuları değişebilmektedir. Bu sebeple kullanım alanına bağlı olarak en uygun dokuya sahip Mo ince filmlerin üretilmesi için ideal üretim parametrelerinin belirlenmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, CIGS güneş gözesi uygulamalarında sıklıkla istenen BCC yapısında ve (110) düzlemindeki Mo ince filmler üretilebilmiştir. Üretim, Mo filmin alttaş yüzeyine tutunumunu ve elektriksel iletkenliğini iyileştirmek için çift katmanlı üretim stratejisi kullanılarak gerçekleştirilmiştir. Üretilen filmlerin SEM, AFM ve XRD sistemleri ile yüzey, topoğrafya ve yapı analizleri gerçekleştirilmiş ayrıca yarı kantitatif doku analizleri yapılarak kutup figürleri elde edilmiştir. Topoğrafik ve detaylı yapısal analiz sonuçları birbirleri ile ve literatürde var olan diğer çalışmalar ile kıyaslandığında bu çalışmada ortaya koyulan üretim parametrelerinin kullanılabilirliği gösterilmiştir.

求助全文

通过发布文献求助，成功后即可免费获取论文全文。去求助

来源期刊

Suleyman Demirel Universitesi Fen Bilimleri Enstitusu Dergisi

自引率

0.00%

发文量

审稿时长

10 weeks