Properties of MoOx thin films prepared by magnetron sputtering

MoOx材料因其较低的反射率，在窄边框液晶显示技术等领域是一种理想的材料。本文利用磁控溅射法在玻璃基板上制备MoOx薄膜，并在MoOx薄膜上沉积不同的金属层，采用不同的方法研究MoOx薄膜及其搭配金属层的特性。测试结果表明：MoOx和玻璃基板的粘附性较好，无须打底膜可在玻璃基板上直接沉积；MoOx和Al及Cu的粘附效果优于Mo及MTD等Mo合金；MoOx薄膜的方块电阻值较大，搭配金属层时可忽略不计；MoOx厚度对搭配金属膜的反射率及色差影响很大，而金属层厚度影响较小。对于采用MoOx作低反材料的工艺，可以根据MoOx材料的特性选择搭配不同的金属层，在满足反射率等要求的基础上，可通过调整MoOx层厚度来调整产品的色差，以满足客户的颜色喜好需求。