分析在氧化锌基底上合成藻功能层的方法，用于前景看好的电子器件

Nanoindustry Russia Pub Date : 2023-10-11 DOI:10.22184/1993-8578.2023.16.6.362.368

А.Х. Абдуев, А.Ш. Асваров, А.К. Ахмедов, Э.К. Мурлиев

{"title":"分析在氧化锌基底上合成藻功能层的方法，用于前景看好的电子器件","authors":"А.Х. Абдуев, А.Ш. Асваров, А.К. Ахмедов, Э.К. Мурлиев","doi":"10.22184/1993-8578.2023.16.6.362.368","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Проанализированы процессы магнетронного синтеза нанокристаллических и аморфных слоев на основе оксида цинка. Изучено влияние легирующих компонентов и уровня легирования на степень аморфизации слоев. Рассмотрено влияние водорода в составе атмосферы на структурное совершенство синтезируемых слоев. Показана зависимость структуры слоев ZnO–SnO2 от соотношения компонентов в распыляемых мишенях. Обсуждены механизмы формирования аморфных слоев на основе ZnO при магнетронных методах синтеза.","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":"34 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-10-11","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"АНАЛИЗ МЕТОДОВ СИНТЕЗА АМОРФНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ДЛЯ УСТРОЙСТВ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ\",\"authors\":\"А.Х. Абдуев, А.Ш. Асваров, А.К. Ахмедов, Э.К. Мурлиев\",\"doi\":\"10.22184/1993-8578.2023.16.6.362.368\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Проанализированы процессы магнетронного синтеза нанокристаллических и аморфных слоев на основе оксида цинка. Изучено влияние легирующих компонентов и уровня легирования на степень аморфизации слоев. Рассмотрено влияние водорода в составе атмосферы на структурное совершенство синтезируемых слоев. Показана зависимость структуры слоев ZnO–SnO2 от соотношения компонентов в распыляемых мишенях. Обсуждены механизмы формирования аморфных слоев на основе ZnO при магнетронных методах синтеза.\",\"PeriodicalId\":223196,\"journal\":{\"name\":\"Nanoindustry Russia\",\"volume\":\"34 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2023-10-11\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Nanoindustry Russia\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.6.362.368\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.6.362.368","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

摘要

分析了基于氧化锌的纳米晶体和无定形层的磁控管合成过程。研究了合成器组件和合成器水平对层化程度的影响。考虑到大气中的氢对合成层的结构完美的影响。ZnO - SnO2层结构与分散目标组件的比值有关。讨论了以ZnO为基础的无定形层形成机制，使用磁子合成方法。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

查看原文本刊更多论文

АНАЛИЗ МЕТОДОВ СИНТЕЗА АМОРФНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ДЛЯ УСТРОЙСТВ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

Проанализированы процессы магнетронного синтеза нанокристаллических и аморфных слоев на основе оксида цинка. Изучено влияние легирующих компонентов и уровня легирования на степень аморфизации слоев. Рассмотрено влияние водорода в составе атмосферы на структурное совершенство синтезируемых слоев. Показана зависимость структуры слоев ZnO–SnO2 от соотношения компонентов в распыляемых мишенях. Обсуждены механизмы формирования аморфных слоев на основе ZnO при магнетронных методах синтеза.

求助全文

通过发布文献求助，成功后即可免费获取论文全文。去求助

来源期刊

Nanoindustry Russia

自引率

0.00%

发文量