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全叶弹簧式空间大行程并联柔性微定位平台及轨迹控制

Q3 Materials Science
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.37188/ope.20233118.2675
Yunzhuang CHEN, Leijie LAI, Pengzhi LI, Limin ZHU
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摘要

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本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。
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Full leaf-spring type spatial large-stroke parallel flexure micro-positioning stage and trajectory control
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Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering Materials Science-Electronic, Optical and Magnetic Materials
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