Применение Pd-Ba покрытия в пеннинговском ионном источнике

Рассмотрен метод улучшения рабочих характеристик газоразрядного ионного источника пеннинговского типа, основанный на применении палладий-бариевого (Pd-Ba) покрытия его катодов. Покрытие наносилось методом магнетронного распыления, толщина покрытия составляла несколько микрометров. Для достижения рабочих параметров ИИ покрытие в составе электровакуумного прибора активировалось методом отбора током в остаточной атмосфере водорода. Температура активации была существенно ниже той, что используется в СВЧ приборах в условиях высокого вакуума. После активации наблюдалось улучшение разрядных характеристик ИИ за счёт снижения потенциала горения разряда (при одинаковом давлении). Также был установлен факт повышения доли атомарных ионов в экстрагируемом из ИИ пучке. Эффект снижения потенциала горения объясняется применением эмиссионно-активной добавки (бария), а повышения доли атомарных ионов в экстрагируемом пучке каталитическим действием палладия.