Формирование поверхностного сплава Mo-Zr с помощью низкоэнергетического сильноточного электронного пучка

Представлены результаты исследований по формированию Mo-Zr поверхностного сплава на Zr подложке с помощью низкоэнергетического сильноточного электронного пучка (НСЭП). Сплав формировался путем чередования операций напыления пленки молибдена на подложку и последующей НСЭП обработки с различной плотность энергии полученной системы пленка/подложка в едином вакуумном цикле. Исследована морфология, элементный состав, а также распределение молибдена по глубине образцов с поверхностным сплавом. Обнаружено, что для рассматриваемых режимов формирования поверхностного сплава происходит образование сетки трещин и пор на поверхности образцов. Показано, что с увеличением плотности энергии НСЭП при формировании поверхностного сплава поверхность становится более однородной, количество пор уменьшается, и при плотности энергии 5.5 Дж/см2 полностью отсутствуют. Исследование элементного состава показало, что увеличение плотности энергии приводит к легированию молибденом на большую глубину и формированию более однородного по толщине поверхностного сплава.