真空涂层法制造激光靶标

Nanoindustry Russia Pub Date : 2023-08-31 DOI:10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264

А.И. Арефьев, В.Н. Горнов, Л.Е. Пешкичева, О. С. Юрченко, Л.Е. Гусс, А.В. Савельев, Антон Петрович Котов

{"title":"真空涂层法制造激光靶标","authors":"А.И. Арефьев, В.Н. Горнов, Л.Е. Пешкичева, О. С. Юрченко, Л.Е. Гусс, А.В. Савельев, Антон Петрович Котов","doi":"10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных\nтонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":" 2","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-08-31","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ\",\"authors\":\"А.И. Арефьев, В.Н. Горнов, Л.Е. Пешкичева, О. С. Юрченко, Л.Е. Гусс, А.В. Савельев, Антон Петрович Котов\",\"doi\":\"10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных\\nтонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.\",\"PeriodicalId\":223196,\"journal\":{\"name\":\"Nanoindustry Russia\",\"volume\":\" 2\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2023-08-31\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Nanoindustry Russia\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

摘要

这篇文章展示了多层薄膜激光目标技术的发展成果。这是对用于制造目标的原始材料和获得的薄膜样品的研究结果。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

查看原文本刊更多论文

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных тонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.

求助全文

通过发布文献求助，成功后即可免费获取论文全文。去求助

来源期刊

Nanoindustry Russia

自引率

0.00%

发文量