{"title":"表面定向对阿森尼德·高卢高温退火特性的影响","authors":"Н. Л. Шварц, А.А. Спирина","doi":"10.34077/rcsp2021-71","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В работе представлены результаты Монте-Карло моделирования ленгмюровского\nиспарения подложек арсенида галлия. Анализировалось влияние ориентации поверхности\nподложек на характеристики неравновесных высокотемпературных отжигов.\nРассматривались сингулярные и вицинальные поверхности GaAs(111)A и GaAs(111)В с\nразными углами разориентации. Моделирование осуществлялось в температурном диапазоне\n700 – 1000 K, включающем температуры конгруэнтного испарения Тс подложек с разным\nуглом отклонения.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"140 6 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Влияние ориентации поверхности на характеристики высокотемпературных отжигов\\nподложек арсенида галлия\",\"authors\":\"Н. Л. Шварц, А.А. Спирина\",\"doi\":\"10.34077/rcsp2021-71\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"В работе представлены результаты Монте-Карло моделирования ленгмюровского\\nиспарения подложек арсенида галлия. Анализировалось влияние ориентации поверхности\\nподложек на характеристики неравновесных высокотемпературных отжигов.\\nРассматривались сингулярные и вицинальные поверхности GaAs(111)A и GaAs(111)В с\\nразными углами разориентации. Моделирование осуществлялось в температурном диапазоне\\n700 – 1000 K, включающем температуры конгруэнтного испарения Тс подложек с разным\\nуглом отклонения.\",\"PeriodicalId\":356596,\"journal\":{\"name\":\"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ\",\"volume\":\"140 6 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2021-09-27\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-71\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-71","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Влияние ориентации поверхности на характеристики высокотемпературных отжигов
подложек арсенида галлия
В работе представлены результаты Монте-Карло моделирования ленгмюровского
испарения подложек арсенида галлия. Анализировалось влияние ориентации поверхности
подложек на характеристики неравновесных высокотемпературных отжигов.
Рассматривались сингулярные и вицинальные поверхности GaAs(111)A и GaAs(111)В с
разными углами разориентации. Моделирование осуществлялось в температурном диапазоне
700 – 1000 K, включающем температуры конгруэнтного испарения Тс подложек с разным
углом отклонения.