M. T. Yurtcan, Önder Şimşek, M. Ertuğrul
{"title":"DARBELİ LAZER YIĞMA SİSTEMİ (PLD) İLE YBCO İNCE FİLMLERİN HAZIRLANMASI","authors":"M. T. Yurtcan, Önder Şimşek, M. Ertuğrul","doi":"10.18185/EUFBED.55108","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Bu calismada Turkiye’de yaygin olarak kullanilmayan PLD teknigini kullanarak yuksek kaliteye sahip YBa2Cu3O7-δ (YBCO) ince filmler urettik. Yuksek kaliteli YBCO ince filmleri elde edebilmek icin oncelikle optimum buyutme sartlarini arastirdik. SrTiO3 (STO), MgO, Itrium Sabitlenmis Zirkonyum Oksit (YSZ) ve LaAlO3 (LAO) gibi alttaslar YBCO ince filmlerin buyutulmesinde yaygin bir sekilde kullanilmaktadir. Biz  eneylerimizde YBCO icin uygun kristal orguye ve termal genlesme katsayisina sahip LAO’yu alttas olarak kullandik. YBCO icin optimum buyutme sartlarini belirledikten sonra LAO alttaslar uzerine yuksek kaliteli YBCO ince filmler buyutmeyi basardik. Son olarak PLD ile buyutulen ince filmlerin kristalliklerini ve homojenliklerini tayin etmek  maciyla, Yansimali Yuksek Enerji Elektron Kirinimi (RHEED), X-Isini Kirinimi (XRD), Taramali ElektronMikroskobu (SEM), Enerji Dagilimli X-Isini Spektroskopisi (EDX) ve Kritik Sicaklik (TC) olcumleri yapilmistir.","PeriodicalId":212034,"journal":{"name":"Erzincan University Journal of Science and Technology","volume":"18 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2014-03-12","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Erzincan University Journal of Science and Technology","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.18185/EUFBED.55108","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0

摘要

在这项研究中,我们利用在土耳其尚未广泛应用的 PLD 技术制造了高质量的 YBa2Cu3O7-δ (YBCO) 薄膜。 我们首先研究了获得高质量 YBCO 薄膜的最佳生长条件。在 YBCO 薄膜的生长过程中,SrTiO3 (STO)、MgO、钇稳定氧化锆 (YSZ) 和 LaAlO3 (LAO) 等基底被广泛使用。在确定了 YBCO 的最佳生长条件后,我们成功地在 LAO 基底上生长出了高质量的 YBCO 薄膜。最后,我们进行了反射高能电子衍射 (RHEED)、X 射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、能量色散 X 射线光谱 (EDX) 和临界温度 (TC) 测量,以确定通过 PLD 生长的薄膜的结晶度和均匀性。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
DARBELİ LAZER YIĞMA SİSTEMİ (PLD) İLE YBCO İNCE FİLMLERİN HAZIRLANMASI
Bu calismada Turkiye’de yaygin olarak kullanilmayan PLD teknigini kullanarak yuksek kaliteye sahip YBa2Cu3O7-δ (YBCO) ince filmler urettik. Yuksek kaliteli YBCO ince filmleri elde edebilmek icin oncelikle optimum buyutme sartlarini arastirdik. SrTiO3 (STO), MgO, Itrium Sabitlenmis Zirkonyum Oksit (YSZ) ve LaAlO3 (LAO) gibi alttaslar YBCO ince filmlerin buyutulmesinde yaygin bir sekilde kullanilmaktadir. Biz  eneylerimizde YBCO icin uygun kristal orguye ve termal genlesme katsayisina sahip LAO’yu alttas olarak kullandik. YBCO icin optimum buyutme sartlarini belirledikten sonra LAO alttaslar uzerine yuksek kaliteli YBCO ince filmler buyutmeyi basardik. Son olarak PLD ile buyutulen ince filmlerin kristalliklerini ve homojenliklerini tayin etmek  maciyla, Yansimali Yuksek Enerji Elektron Kirinimi (RHEED), X-Isini Kirinimi (XRD), Taramali ElektronMikroskobu (SEM), Enerji Dagilimli X-Isini Spektroskopisi (EDX) ve Kritik Sicaklik (TC) olcumleri yapilmistir.
求助全文
通过发布文献求助,成功后即可免费获取论文全文。 去求助
来源期刊
自引率
0.00%
发文量
0
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
请完成安全验证×
copy
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
右上角分享
点击右上角分享
0
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术官方微信