{"title":"DARBELİ LAZER YIĞMA SİSTEMİ (PLD) İLE YBCO İNCE FİLMLERİN HAZIRLANMASI","authors":"M. T. Yurtcan, Önder Şimşek, M. Ertuğrul","doi":"10.18185/EUFBED.55108","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Bu calismada Turkiye’de yaygin olarak kullanilmayan PLD teknigini kullanarak yuksek kaliteye sahip YBa2Cu3O7-δ (YBCO) ince filmler urettik. Yuksek kaliteli YBCO ince filmleri elde edebilmek icin oncelikle optimum buyutme sartlarini arastirdik. SrTiO3 (STO), MgO, Itrium Sabitlenmis Zirkonyum Oksit (YSZ) ve LaAlO3 (LAO) gibi alttaslar YBCO ince filmlerin buyutulmesinde yaygin bir sekilde kullanilmaktadir. Biz eneylerimizde YBCO icin uygun kristal orguye ve termal genlesme katsayisina sahip LAO’yu alttas olarak kullandik. YBCO icin optimum buyutme sartlarini belirledikten sonra LAO alttaslar uzerine yuksek kaliteli YBCO ince filmler buyutmeyi basardik. Son olarak PLD ile buyutulen ince filmlerin kristalliklerini ve homojenliklerini tayin etmek maciyla, Yansimali Yuksek Enerji Elektron Kirinimi (RHEED), X-Isini Kirinimi (XRD), Taramali ElektronMikroskobu (SEM), Enerji Dagilimli X-Isini Spektroskopisi (EDX) ve Kritik Sicaklik (TC) olcumleri yapilmistir.","PeriodicalId":212034,"journal":{"name":"Erzincan University Journal of Science and Technology","volume":"18 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2014-03-12","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Erzincan University Journal of Science and Technology","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.18185/EUFBED.55108","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Bu calismada Turkiye’de yaygin olarak kullanilmayan PLD teknigini kullanarak yuksek kaliteye sahip YBa2Cu3O7-δ (YBCO) ince filmler urettik. Yuksek kaliteli YBCO ince filmleri elde edebilmek icin oncelikle optimum buyutme sartlarini arastirdik. SrTiO3 (STO), MgO, Itrium Sabitlenmis Zirkonyum Oksit (YSZ) ve LaAlO3 (LAO) gibi alttaslar YBCO ince filmlerin buyutulmesinde yaygin bir sekilde kullanilmaktadir. Biz eneylerimizde YBCO icin uygun kristal orguye ve termal genlesme katsayisina sahip LAO’yu alttas olarak kullandik. YBCO icin optimum buyutme sartlarini belirledikten sonra LAO alttaslar uzerine yuksek kaliteli YBCO ince filmler buyutmeyi basardik. Son olarak PLD ile buyutulen ince filmlerin kristalliklerini ve homojenliklerini tayin etmek maciyla, Yansimali Yuksek Enerji Elektron Kirinimi (RHEED), X-Isini Kirinimi (XRD), Taramali ElektronMikroskobu (SEM), Enerji Dagilimli X-Isini Spektroskopisi (EDX) ve Kritik Sicaklik (TC) olcumleri yapilmistir.