Александр Артемович Соловьев, Е.Ф. Певцов
求助PDF
{"title":"积分微电机械静电式逻辑整流器","authors":"Александр Артемович Соловьев, Е.Ф. Певцов","doi":"10.22184/1993-8578.2022.15.8s.595.601","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В работе приведена модель микроэлектромеханического логического вентиля с подвижным затворным электродом, преобразующего электрический сигнал в механические колебания и способного выполнять функцию булевой алгебры «Исключающее ИЛИ».","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":"4 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-05-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ЛОГИЧЕСКИЙ ВЕНТИЛЬ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ТИПА В\",\"authors\":\"Александр Артемович Соловьев, Е.Ф. Певцов\",\"doi\":\"10.22184/1993-8578.2022.15.8s.595.601\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"В работе приведена модель микроэлектромеханического логического вентиля с подвижным затворным электродом, преобразующего электрический сигнал в механические колебания и способного выполнять функцию булевой алгебры «Исключающее ИЛИ».\",\"PeriodicalId\":223196,\"journal\":{\"name\":\"Nanoindustry Russia\",\"volume\":\"4 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2022-05-27\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Nanoindustry Russia\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.15.8s.595.601\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.15.8s.595.601","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
引用
批量引用