研究光敏材料厚度对金属陶瓷板和电路外壳分辨率的影响

{"title":"研究光敏材料厚度对金属陶瓷板和电路外壳分辨率的影响","authors":"Е. Е. Ермолаев, Павел Юрьевич Ермолаев","doi":"10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"","PeriodicalId":128580,"journal":{"name":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","volume":"39 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"1900-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ\",\"authors\":\"Е. Е. Ермолаев, Павел Юрьевич Ермолаев\",\"doi\":\"10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"\",\"PeriodicalId\":128580,\"journal\":{\"name\":\"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ\",\"volume\":\"39 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"1900-01-01\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}