{"title":"硅仪表板在水生环境中被激光辐射掩埋","authors":"А.Р. Новоселов","doi":"10.34077/rcsp2021-154","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на\nкремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.\nОсобенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава\nводой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"158 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной\\nсреде\",\"authors\":\"А.Р. Новоселов\",\"doi\":\"10.34077/rcsp2021-154\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на\\nкремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.\\nОсобенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава\\nводой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.\",\"PeriodicalId\":356596,\"journal\":{\"name\":\"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ\",\"volume\":\"158 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2021-09-27\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-154\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-154","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной
среде
Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на
кремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.
Особенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава
водой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.