硅仪表板在水生环境中被激光辐射掩埋

А.Р. Новоселов
{"title":"硅仪表板在水生环境中被激光辐射掩埋","authors":"А.Р. Новоселов","doi":"10.34077/rcsp2021-154","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на\nкремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.\nОсобенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава\nводой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"158 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной\\nсреде\",\"authors\":\"А.Р. Новоселов\",\"doi\":\"10.34077/rcsp2021-154\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на\\nкремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.\\nОсобенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава\\nводой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.\",\"PeriodicalId\":356596,\"journal\":{\"name\":\"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ\",\"volume\":\"158 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2021-09-27\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-154\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-154","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0

摘要

研究了在水生环境中激光照射过程的影响,用于混合红外光电接收器。激光器在水中的特性是快速冷却熔融水,因此完全没有熔化在管道和仪表板表面。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной среде
Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде на кремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения. Особенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплава водой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.
求助全文
通过发布文献求助,成功后即可免费获取论文全文。 去求助
来源期刊
自引率
0.00%
发文量
0
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
请完成安全验证×
copy
已复制链接
快去分享给好友吧!
我知道了
右上角分享
点击右上角分享
0
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术官方微信