A formation of nanostructured anodic oxide on the silicon surface

Izvestiia vysshikh uchebnykh zavedenii Povolzhskii region Fizikomatematicheskie nauki Pub Date : 2021-01-01 DOI:10.21685/2072-3040-2021-2-8

M.Yu. Makhmud-Akhunov, I. O. Karachev, B. Kostishko, Research-and-production enterprise “Zavod Iskra”

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在硅表面形成纳米结构的阳极氧化物

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