Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti-Al составной мишени

Abstract

Представлены результаты исследования процессов реактивного магнетронного распыления Ti-Al составной мишени в Ar/O2 смеси газов при различных способах подачи газов в камеру. Установлено, что независимо от способа подачи газов при изменении концентрации кислорода в Ar/O2 смеси газов происходит изменение соотношения содержания Al и Ti в нанесенных пленках Ti1-xAlxOy. На основе исследований диэлектрических характеристик нанесенных пленок Ti1-xAlxOy установлено, что при раздельной газоподаче (Ar подается в область мишени, O2 подается в область подложки) в отличие от совместной газоподачи (смесь Ar/O2 рабочих газов подается в область мишени) возможно нанесение диэлектрических пленок в переходном режиме при сравнительно высоких скоростях распыления. При этом подача кислорода в область подложки позволяет увеличить содержание кислорода в пленках до 60-64 at.%. Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление, составная мишень, тонкие пленки, оксид титана-алюминия, элементный состав, диэлектрическая проницаемость, тангенс угла диэлектрических потерь.