Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения

Журнал структурной химии Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.26902/jsc_id107605

Д.Е. Петухова, Е. С. Викулова, И. В. Корольков, С.Я. Хмель, Михаил Сергеевич Лебедев

{"title":"Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения","authors":"Д.Е. Петухова, Е. С. Викулова, И. В. Корольков, С.Я. Хмель, Михаил Сергеевич Лебедев","doi":"10.26902/jsc_id107605","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Пленки Hf‑Sc‑O синтезированы методом атомно-слоевого осаждения с использованием паров тетракис-диэтиламида гафния (Hf(N(C2H5)2)4, TDEAH), трис-метилциклопентадиенила скандия (Sc(C5H4CH3)3) и воды при 300 °C на подложках монокристаллического кремния (100) и массивах ориентированных микроканатов (МОМК) SiOх. Образцы исследованы комплексом физико-химических методов: одноволновая эллипсометрия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, рентгеновская дифракция, просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия. Определены значения константы роста (прирост толщины пленки за один реакционный цикл) для индивидуальных и смешанных оксидов, охарактеризованы образующиеся в пленках фазы, установлена взаимосвязь морфологии поверхности и химического состава, исследованы оптические свойства образцов. Использование МОМК в качестве подложек позволило достоверно идентифицировать образование упорядоченной δ-фазы Hf3Sc4O12 ромбоэдрического структурного типа пространственной группы R-3.","PeriodicalId":24042,"journal":{"name":"Журнал структурной химии","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Журнал структурной химии","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.26902/jsc_id107605","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Пленки Hf‑Sc‑O синтезированы методом атомно-слоевого осаждения с использованием паров тетракис-диэтиламида гафния (Hf(N(C2H5)2)4, TDEAH), трис-метилциклопентадиенила скандия (Sc(C5H4CH3)3) и воды при 300 °C на подложках монокристаллического кремния (100) и массивах ориентированных микроканатов (МОМК) SiOх. Образцы исследованы комплексом физико-химических методов: одноволновая эллипсометрия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, рентгеновская дифракция, просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия. Определены значения константы роста (прирост толщины пленки за один реакционный цикл) для индивидуальных и смешанных оксидов, охарактеризованы образующиеся в пленках фазы, установлена взаимосвязь морфологии поверхности и химического состава, исследованы оптические свойства образцов. Использование МОМК в качестве подложек позволило достоверно идентифицировать образование упорядоченной δ-фазы Hf3Sc4O12 ромбоэдрического структурного типа пространственной группы R-3.

查看原文本刊更多论文

原子层沉积法合成的Hf-Sc-O薄膜的生长特性和相组成

胶卷Hf Sc boundary O原子合成方法-слоев使用几个тетракис二乙胺铪沉积(Hf (N (C2H5) 2) 4、TDEAH)、翠метилциклопентадиен钪(Sc(300°C下C5H4CH3) 3)和水硅衬底单晶(100名)和面向микроканат数组(МОМКSiOх)。物理化学方法的样本被综合分析:单波椭圆、x射线光谱学、x射线衍射、透视和扫描电子显微镜。在单个反应周期内，对单个和混合氧化物的生长常数(胶片厚度增加)的定义，在薄膜中形成的相，与表面形态学和化学成分相互联系，研究样品的光学特性。使用mk作为勺子，可以有效地识别出r3空间群结构类型的有序“h”阶段Hf3Sc4O12的形成。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Журнал структурной химии

自引率

0.00%

发文量