Réflectomètre à large spectre EUV pour la métrologie d'optiques

Ch. Hecquet, M. Roulliay, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Hardouin, M. Idir
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Abstract

Le Laboratoire Charles Fabry concoit de nombreuses optiques dont certaines pour les applications dans le spectre EUV. Pour les besoins de caracterisation, il est necessaire de posseder une metrologie a la longueur d'onde d'utilisation proche des moyens de fabrication. Ceci permet d'etudier les composants des leur conception et de caracteriser les optiques. Nous presentons ici les performances d'un reflectometre automatise EUV large spectre. Il a ete developpe dans le cadre de la centrale CEMOX 1 , initiee par le pole PRaXO 2 .
光学计量用EUV广谱反射计
查尔斯·法布里实验室制造了许多光学设备,其中一些用于EUV光谱。为了特性的目的,必须有一种与使用的波长接近制造手段的计量方法。这使得研究其设计中的组件和表征光学成为可能。本文介绍了自动广谱反射计的性能。它是在由pole PRaXO 2发起的CEMOX 1电站框架内开发的。
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