ESTIMASI KETEBALAN NANOLAYER AL YANG DISINTESIS MENGGUNAKAN EVAPORASI TERMAL

Abstract

Telah dilakukan sintesis nanolayer Aluminium (Al) di atas substrat menggunakan metoda evaporasi termal. Untuk menentukan ketebalan sampel dilakukan analisis citra hasil scanning electron microscope (SEM) menggunakan program ImageJ. Selain itu dilakukan juga analisis transmisi optik melalui nanolayer tersebut berdasarkan data transmitansi yang diperoleh dari hasil karakterisasi menggunakan spektrometer UV-Vis pada range panjang gelombang 300-800 nm. Berdasaran hasil tersebut dapat ditentukan rasio ketebalan nanolayer yang terbentuk terhadap massa sumber yang digunakan. Untuk mengestimasi ketebalan nanolayer yang disintesis dengan metode ini dapat dilakukan dengan cara memformulasikan model hubungan antara massa sumber terhadap ketebalan nanolayer. Pemodelan dilakukan dengan cara fitting data ketebalan nanolayer yang diperoleh terhadap massa sumber yang dievaporasikan pada kurva linear dan kurva polinomial orde dua. Estimasi dilakukan juga dengan cara fitting data rasio terhdap massa sumber pada kurva linear. Hasil fitting ini, selain dapat digunakan untuk mengestimasi ketebalan nanolayer, dapat juga digunakan untuk mengestiamsi besarnya massa sumber minimum yang tidak dapat menghasilkan nanolyer pada substrat melalui proses evaporasi.