大尺寸高端显示器件用薄膜晶体管Al-Mo复合电极坡度的形成过程与可控调节

Q4 Chemistry

中国科学(化学) Pub Date : 2023-07-01 DOI:10.1360/ssc-2023-0138

Z. Ou

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The Formation Process and Controllable Adjustment of Al Mo Composite Electrode Slope in Thin Film Transistors for Large Size High end Display Devices

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中国科学(化学) Materials Science-Materials Chemistry

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