Geometric error identification of rotary axes based on misaligned tower-shaped artefact

Q3 Materials Science
Tao CHENG, Sitong XIANG, Hainan ZHANG, Jianguo YANG
{"title":"Geometric error identification of rotary axes based on misaligned tower-shaped artefact","authors":"Tao CHENG, Sitong XIANG, Hainan ZHANG, Jianguo YANG","doi":"10.37188/ope.20233121.3125","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"æ—‹è½¬è½´çš„å‡ ä½•è¯¯å·®ç›´æŽ¥å½±å“äº”è½´æœºåºŠçš„åŠ å·¥ç²¾åº¦ï¼Œä½†ç”±äºŽå ¶è¯¯å·®é¡¹å¤šä¸”é«˜åº¦è€¦åˆï¼Œå› æ­¤è¾¨è¯†éš¾åº¦è¾ƒå¤§ã€‚æå‡ºäº†ä¸€ç§å·¥ä»¶åˆ‡å‰Šåœ¨æœºæµ‹é‡æ–¹æ³•ï¼Œç”¨äºŽè¾¨è¯†äº”è½´æœºåºŠæ—‹è½¬è½´6é¡¹ä¸Žä½ç½®ç›¸å ³çš„å‡ ä½•è¯¯å·®ï¼ˆPDGEï¼‰ã€‚è®¾è®¡å¹¶åŠ å·¥ä¸€ç§é”™ä½å¡”å½¢å·¥ä»¶ï¼Œå®ƒç”±ä¸‰å±‚é”™ä½å åŠ çš„çŸ©å½¢å—ç»„æˆã€‚åœ¨å·¥ä»¶ä¸åŒå±‚çº§çš„åº•é¢ä¸Žä¾§é¢å¸ƒç½®æµ‹ç‚¹å¹¶è¿›è¡Œåœ¨æœºæµ‹é‡ï¼ŒåŸºäºŽç©ºé—´è¯¯å·®æ¨¡åž‹æŽ¨å¯¼å‡ºæ¯é¡¹è¯¯å·®çš„è¾¨è¯†åŽŸç†ä¸Žè§£æžè§£ï¼Œå¹¶é‡‡ç”¨è’™ç‰¹å¡æ´›æ¨¡æ‹Ÿè¿›è¡Œä¸ç¡®å®šæ€§åˆ†æžã€‚æœ€åŽï¼Œé€šè¿‡ä¸Žçƒæ†ä»ªè¯¯å·®è¾¨è¯†æ–¹æ³•è¿›è¡Œå¯¹æ¯”éªŒè¯ï¼Œçº¿æ€§è¯¯å·®<italic>E<sub>XC</sub></italic>,<italic>E<sub>YC</sub></italic>与<italic>E<sub>ZC</sub></italic>的辨识结果偏差最大为2.7,<italic>-</italic>1.7与<italic>-</italic>1.3 μm;角度误差<italic>E<sub>AC</sub></italic>,<italic>E<sub>BC</sub></italic>与<italic>E<sub>CC</sub></italic>的辨识结果偏差最大为1.3″,<italic>-</italic>0.6″与<italic>-</italic>2.1â€³ï¼Œä¸¤è€ è¾¨è¯†å¹³å‡å»åˆåº¦è¾¾95.4%ã€‚æœ¬æ–¹æ³•é€šè¿‡å·¥ä»¶åˆ‡å‰Šä¸Žåœ¨æœºæµ‹é‡ï¼Œæ¯é¡¹è¯¯å·®çš„è¾¨è¯†åŽŸç†ä¸Žè§£æžè§£å½¢å¼ç®€å•ï¼Œå¯è¾¨è¯†å®žé™ å·¥å†µä¸‹çš„æ—‹è½¬è½´6项PDGE。","PeriodicalId":39778,"journal":{"name":"Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering","volume":"141 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.37188/ope.20233121.3125","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"Q3","JCRName":"Materials Science","Score":null,"Total":0}
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Abstract

æ—‹è½¬è½´çš„å‡ ä½•è¯¯å·®ç›´æŽ¥å½±å“äº”è½´æœºåºŠçš„åŠ å·¥ç²¾åº¦ï¼Œä½†ç”±äºŽå ¶è¯¯å·®é¡¹å¤šä¸”é«˜åº¦è€¦åˆï¼Œå› æ­¤è¾¨è¯†éš¾åº¦è¾ƒå¤§ã€‚æå‡ºäº†ä¸€ç§å·¥ä»¶åˆ‡å‰Šåœ¨æœºæµ‹é‡æ–¹æ³•ï¼Œç”¨äºŽè¾¨è¯†äº”è½´æœºåºŠæ—‹è½¬è½´6é¡¹ä¸Žä½ç½®ç›¸å ³çš„å‡ ä½•è¯¯å·®ï¼ˆPDGEï¼‰ã€‚è®¾è®¡å¹¶åŠ å·¥ä¸€ç§é”™ä½å¡”å½¢å·¥ä»¶ï¼Œå®ƒç”±ä¸‰å±‚é”™ä½å åŠ çš„çŸ©å½¢å—ç»„æˆã€‚åœ¨å·¥ä»¶ä¸åŒå±‚çº§çš„åº•é¢ä¸Žä¾§é¢å¸ƒç½®æµ‹ç‚¹å¹¶è¿›è¡Œåœ¨æœºæµ‹é‡ï¼ŒåŸºäºŽç©ºé—´è¯¯å·®æ¨¡åž‹æŽ¨å¯¼å‡ºæ¯é¡¹è¯¯å·®çš„è¾¨è¯†åŽŸç†ä¸Žè§£æžè§£ï¼Œå¹¶é‡‡ç”¨è’™ç‰¹å¡æ´›æ¨¡æ‹Ÿè¿›è¡Œä¸ç¡®å®šæ€§åˆ†æžã€‚æœ€åŽï¼Œé€šè¿‡ä¸Žçƒæ†ä»ªè¯¯å·®è¾¨è¯†æ–¹æ³•è¿›è¡Œå¯¹æ¯”éªŒè¯ï¼Œçº¿æ€§è¯¯å·®EXC,EYC与EZC的辨识结果偏差最大为2.7,-1.7与-1.3 μm;角度误差EAC,EBC与ECC的辨识结果偏差最大为1.3″,-0.6″与-2.1â€³ï¼Œä¸¤è€ è¾¨è¯†å¹³å‡å»åˆåº¦è¾¾95.4%ã€‚æœ¬æ–¹æ³•é€šè¿‡å·¥ä»¶åˆ‡å‰Šä¸Žåœ¨æœºæµ‹é‡ï¼Œæ¯é¡¹è¯¯å·®çš„è¾¨è¯†åŽŸç†ä¸Žè§£æžè§£å½¢å¼ç®€å•ï¼Œå¯è¾¨è¯†å®žé™ å·¥å†µä¸‹çš„æ—‹è½¬è½´6项PDGE。
基于偏差塔形伪影的旋转轴几何误差辨识
我想知道你的想法餈銝芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏僎芸蝐颱犖瘞湔箏çç©å½¢åç"æãå¨å-¥ä"¶ä¸åå±çº§çåºé¢ä¸ä¾§é¢å¸ç½®æµç¹å¹¶è¿è¡å¨æºæµéï¼äºç©é´è¯¯å-®æ¨¡å樼åºæ¯é¡¹è¯¯å-®ç辨è¯åä¸è§£æ解ï¼å¹¶éç¨èç¹å¡æ´æ¨¡æè¿è¡=æ´æ¨¡å®æ§åãæï¼éä¸çä"ªè¯¯å-®è¾¨è¯æ¹è¿è¡å¯æ¹æ¯éªè¯ï¼ºæ§¯¿æ§¯å-®EXCï¼EYCä¸EZCç辨è¯ç"æåå-®æ¸æ为2.4% 閱讀更多資訊
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Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering Materials Science-Electronic, Optical and Magnetic Materials
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