Исследование метода термального атомно-слоевого осаждения для создания функциональных покрытий TiO2 на макропористой кремниевой подложке

Uzbek journal of physics Pub Date : 2023-10-07 DOI:10.52304/.v25i3.456

Т.К. Турдалиев, Р.Х. Ашуров, Х.Х. Зохидов

{"title":"Исследование метода термального атомно-слоевого осаждения для создания функциональных покрытий TiO2 на макропористой кремниевой подложке","authors":"Т.К. Турдалиев, Р.Х. Ашуров, Х.Х. Зохидов","doi":"10.52304/.v25i3.456","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.","PeriodicalId":498992,"journal":{"name":"Uzbek journal of physics","volume":"12 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-10-07","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Uzbek journal of physics","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.52304/.v25i3.456","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.

查看原文本刊更多论文

热原子层沉积法研究在大孔硅基座上创建TiO2功能覆盖层

电化学腐蚀产生的宏观多孔硅基质特征为毛孔均匀分布。TiO2胶片采用了热原子层沉积方法，研究了过程的特性并优化了其参数。这项研究的结果得到了光谱椭圆测定，扫描电子显微镜和元素分析使用SEM EDS。研究表明，将TiO2薄膜应用于宏观多孔硅底座的方法是有效的。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Uzbek journal of physics

自引率

0.00%

发文量