Lithography Should Not Be a Glass Bead Game

Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology Pub Date : 2023-09-13 DOI:10.1117/1.jmm.22.3.030101

Harry J. Levinson

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Abstract

The Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) publishes peer-reviewed papers on the core enabling technologies that address the patterning needs of the electronics industry.

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《微/纳米图案、材料和计量学杂志》(JM3)发表同行评议的关于解决电子工业图案需求的核心使能技术的论文。

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Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology

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