FEM analysis of thin-film inductors used in GHz frequency bands

IEEE International Magnetics Conference Pub Date : 1999-05-18 DOI:10.1109/INTMAG.1999.837938

S. Tanabe, Y. Shiraki, K. Ito, M. Yamaguchi, K. Arai

引用次数: 13

Abstract

Three dimensional finite element method (3D-FEM) simulations have been used to study the possibility of magnetic film utilization to make GHz frequency band inductors. A simple structure of a flat magnetic film above a spiral coil gained about 65% inductance increase. Granular type soft magnetic films showed the best results.

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GHz频段薄膜电感的有限元分析

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