High voltage glow discharge electron guns and its advanced application examples in electronic industry

2016 International Conference Radio Electronics & Info Communications (UkrMiCo) Pub Date : 2016-09-01 DOI:10.1109/UKRMICO.2016.7739615

S. Denbnovetsky, I. Melnyk, V. Melnyk, B. Tugai, S. Tuhai

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Abstract

This paper is devoted to examples of some up-to-date and advanced possibilities of using of high voltage glow discharge electron beam guns for realising of different technological operations in electronic industry.

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