Mechanically coupled comb drive MEMS stages

2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs and Nanophotonics Pub Date : 2008-08-26 DOI:10.1109/OMEMS.2008.4607868

A. Arslan, Ç. Ataman, S. Holmstrom, K. Hedsten, H. Rahmi Seren, H. Urey, P. Enoksson

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Abstract

An electrostatic large clear-aperture in-plane scanner with a novel actuation principle is presented for fast and large stroke scanning applications 9 mum resonant deflection at 11.51 KHz with 100 Vpp excitation is observed.

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2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs and Nanophotonics

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