В.Н. Решетов, И.В. Красногоров, Валерий Васильевич Соловьев, Е.В. Гладких, А.С. Усейнов
{"title":"ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИНСТРУМЕНТАЛЬНОГО ИНДЕНТИРОВАНИЯ – ПРИНЦИПЫ РАБОТЫ И ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУИРОВАНИЯ","authors":"В.Н. Решетов, И.В. Красногоров, Валерий Васильевич Соловьев, Е.В. Гладких, А.С. Усейнов","doi":"10.22184/10.22184/1993-8578.2022.15.7-8.466.476","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Современное оборудование для инструментального наноиндентирования представляет собой сложные аппаратно-программные комплексы, проводящие прецизионные измерения малых сигналов на пределе чувствительности первичных преобразователей, входящих в их конструкцию. Для корректной работы таких измерительных приборов, получения достоверных результатов об исследуемых объектах, а также для обеспечения метрологической обоснованности таких измерений все тракты, по которым проходит первичный измеряемый сигнал, должны быть оптимизированы и согласованы по их разрешению, линейности и шумам. В данной статье обсуждаются особенности проектирования таких высокоточных приборов на примере серийного отечественного нанотвердомера модели NanoScan-4D. Рассмотрены типичные элементы, входящие в состав конструкции прибора, обсуждаются подходы к их оптимизации и управлению, а также влияние несовершенства этих узлов на работу прибора в целом.","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":"55 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-11-28","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"1","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/10.22184/1993-8578.2022.15.7-8.466.476","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 1
Abstract
Современное оборудование для инструментального наноиндентирования представляет собой сложные аппаратно-программные комплексы, проводящие прецизионные измерения малых сигналов на пределе чувствительности первичных преобразователей, входящих в их конструкцию. Для корректной работы таких измерительных приборов, получения достоверных результатов об исследуемых объектах, а также для обеспечения метрологической обоснованности таких измерений все тракты, по которым проходит первичный измеряемый сигнал, должны быть оптимизированы и согласованы по их разрешению, линейности и шумам. В данной статье обсуждаются особенности проектирования таких высокоточных приборов на примере серийного отечественного нанотвердомера модели NanoScan-4D. Рассмотрены типичные элементы, входящие в состав конструкции прибора, обсуждаются подходы к их оптимизации и управлению, а также влияние несовершенства этих узлов на работу прибора в целом.