Deep submicron LOCOS-defined SOI photonic wire waveguides

8th IEEE International Conference on Group IV Photonics Pub Date : 2011-11-01 DOI:10.1109/GROUP4.2011.6053779

A. Tam, M. Ibrahim, B. Lamontagne, N. G. Tarr, W. Ye, S. Janz, Danxia Xu

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Abstract

The LOCOS technique for formation of SOI optical waveguides has been extended to produce low-loss photonic wire channel waveguides with deep submicron dimensions using a very simple process.

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深亚微米locos定义的SOI光子线波导

用于形成SOI光波导的LOCOS技术已扩展到使用非常简单的工艺生产深亚微米尺寸的低损耗光子线通道波导。

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