Statistical Analysis on Threshold Voltage Variability of CAAC-IGZO FETs Using Large-Scale Array TEG

Extended Abstracts of the 2021 International Conference on Solid State Devices and Materials Pub Date : 2021-09-09 DOI:10.7567/ssdm.2021.a-8-03

Yuki - Ito, T. Hamada, Y. Ando, Masahiro Takahashi, T. Murakawa, H. Kunitake, Masaharu - Kobayashi, Kuo-Chang Huang, H. Yoshida, Miller Liao, Shou-Zen Chang, Shunpei Yamazaki

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