ALD assistée par plasma (PEALD)

Abstract

Cet article a pour but de montrer l’interet d’une assistance plasma dans un procede ALD. La premiere section de cet article permet d’introduire et de definir les plasmas froids ainsi que les reacteurs associes. La seconde section porte sur les avantages d’une assistance plasma dans un procede ALD. Dans cette section, de nombreux exemples de materiaux deposes par PEALD sont donnes avec a chaque fois une discussion sur l’impact de l’assistance plasma sur leurs proprietes physico-chimiques ou electriques. Enfin, quelques limites actuelles de ce procede sont donnees en fin d’article avant de conclure.