Konzept perzentiler Diffusionstiefen schneller Elektronen

Abstract

Die Diffusionstiefe schneller Elektronen wird aus der Umkehrtiefenverteilung der kontinuierlichen Diffusionstheorie von Bothe abgeleitet und als perzentile Grose aufgefast, die angibt, welcher Bruchteil der Elektronen des Primarbundels zur Diffusion gelangt ist. Dadurch gelingt es, den Begriff ‚Diffusionstiefe’ zu prazisieren, die Abweichung zwischen den nach unterschiedlichen Kriterien bestimmten experimentellen Diffusionstiefen zu Klaren sowie ihren Zusammenhang mit theoretischen Diffusionstiefen herzustellen.