MEMS micromirror based light sheet generator for biomedical imaging

2017 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) Pub Date : 2017-09-28 DOI:10.1109/OMN.2017.8051499

R. Bauer, D. Uttamchandani

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Abstract

Two MEMS micromirrors with resonant or static actuation are used as a MEMS enabled light sheet generator, with light sheet dimensions of 3.5μm by 550μm and offset positioning of 150μm in the focal plane.

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基于MEMS微镜的生物医学成像光源发生器

采用谐振或静态驱动的两个MEMS微镜作为MEMS光片发生器，光片尺寸为3.5μm × 550μm，焦平面偏移位置为150μm。

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