Kirigami-inspired Electrothermal Actuator for Motion Tracking Blood Flow Measurement

2019 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) Pub Date : 2019-07-01 DOI:10.1109/OMN.2019.8925034

M. Hashimoto, Y. Taguchi

引用次数: 0

Abstract

A large stroke electrothermal MEMS actuator with small device footprint and low driving voltage has been proposed for motion tracking blood flow measurement. This paper reports this kirigami-inspired device design and simulation results of the proposed actuator.

查看原文本刊更多论文

受kirigami启发的用于运动跟踪血流测量的电热执行器

提出了一种器件占地面积小、驱动电压低的大行程电热MEMS致动器，用于运动跟踪血流测量。本文报道了这种受基里伽米启发的装置的设计和所提出的执行器的仿真结果。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

2019 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)

自引率

0.00%

发文量