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8 Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen Pub Date : 1900-01-01 DOI:10.51202/9783186473202-132
Axel Hald
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