Electrical and optical properties of ion implanted SOI-based photonic crystals

8th IEEE International Conference on Group IV Photonics Pub Date : 2011-11-01 DOI:10.1109/GROUP4.2011.6053734

P. Cardile, G. Franzò, R. Lo Savio, M. Galli, T. Krauss, F. Priolo, L. O. Faolain

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Abstract

We investigate the electrical properties of Silicon-on-Insulator photonic crystals as a function of doping level and air filling factor. A very interesting trade-off between conductivity and optical losses in L3 cavities is also found.

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