A new RF MEMS technology enabling tunability for RF front-end RF ohmic relay based on a flexible anchorless membrane

2012 42nd European Microwave Conference Pub Date : 2012-10-01 DOI:10.23919/EUMC.2012.6459130

O. Millet

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Abstract

This paper presents a new RF MEMS relay dedicated to mobile applications. The challenges, the MEMS technology & the packaging solution are introduced.

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一种基于柔性锚定膜的射频前端射频欧姆继电器可调的新型射频MEMS技术

本文介绍了一种新的专用于移动应用的射频微机电系统继电器。介绍了MEMS技术面临的挑战和封装解决方案。

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