Applications of AlN thin-film resonator topologies as antennas and sensors

1992 IEEE Microwave Symposium Digest MTT-S Pub Date : 1992-06-01 DOI:10.1109/MWSYM.1992.187934

R. Weber, S. Burns, C. Campbell, R. O'Toole

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Abstract

The authors report on two novel microwave applications of thin-film resonator (TFR) technology. The first application is the use of an array of TFRs as an on-wafer, phased-array antenna; the second is a gas and chemical mass sensor with nanogram sensitivity.<>

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1992 IEEE Microwave Symposium Digest MTT-S

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