Technology for ring resonator switches using electro-optic materials

First IEEE International Conference on Group IV Photonics, 2004. Pub Date : 2004-09-29 DOI:10.1109/GROUP4.2004.1416640

Y. Tanushi, M. Wake, K. Wakushima, K. Suzuki, S. Yokoyama

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Abstract

Ring resonator switches using electro-optic materials on Si LSI are proposed and the operation voltages are simulated. Fabrication technologies for the resonators are developed. Light propagation in the optical waveguide using electro-optic material is confirmed.

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First IEEE International Conference on Group IV Photonics, 2004.

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