Bi4Ti3O12 ferroelectric thin films : Morphology and electrical characteristics

F. Soares-Carvalho, I. Jauberteau, P. Thomas, J. Mercurio
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Abstract

Des couches minces de Bi 4 Ti 3 O 12 ont ete preparees par centrifugation a partir d'un alcoxyde mixte de bismuth et de titane sur des substrats Pt/TiO 2 /SiO 2 /Si. Des 480 °C, la phase Bi 4 Ti 3 O 12 est cristallisee. Une croissance des grains associee a une augmentation de la rugosite des films a ete observee avec le nombre croissant de couches. Les mesures de cycles d'hysteresis ont confirme le caractere ferroelectrique des films.
Bi4Ti3O12铁电薄膜:形貌与电学特性
以铋和钛的混合醇氧化铝为原料,在Pt/ tio2 / sio2 /Si衬底上离心制备了薄的Bi 4ti3o12层。在480°C时,bi4ti3o12相结晶。随着层数的增加,观察到与薄膜粗糙度增加相关的晶粒生长。迟滞循环的测量证实了薄膜的铁电特性。
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