Vertically-Stacked SOI Waveguides for 3-D Photonic Circuits

3rd IEEE International Conference on Group IV Photonics, 2006. Pub Date : 2006-10-09 DOI:10.1109/GROUP4.2006.1708169

C. Brooks, J. Doylend, A. Knights, P. Jessop

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Abstract

We present a fabrication process for vertically-stacked SOI waveguides using spin-on-glass bonding to process individual layers. Simulations have shown that complete power transfer between 5 mum thick waveguides requires a 1.4 mm coupling length

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3rd IEEE International Conference on Group IV Photonics, 2006.

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