Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

Abstract

Pour affiner la comprehension et le controle des mecanismes de croissance qui gouvernent le processus de depot ALD, les techniques de caracterisation in situ constituent des voies d’investigation de premier ordre. Dans cet article, les differentes techniques utilisees seront presentees en fonction de l’information apportee pour la connaissance du procede de depot ALD : en premier lieu, pour la determination de la fenetre de depot ALD, puis pour la determination des mecanismes reactionnels, et enfin pour la correlation avec les proprietes des films elabores.