IF=32.3！南科大/香港科技大学，Nature Photonics！
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2024-10-26 08:18
文章摘要
香港科技大学和南方科技大学的研究团队通过优化制造工艺和器件设计，成功开发出高效的270 nm UVC微LED，其外量子效率达到5.7%，光输出密度为396 W cm–2。该研究还实现了2540像素每英寸的高分辨率UVC微LED阵列，适用于无掩模光刻，显著提高了光刻过程的效率。这些成果不仅推动了UVC微LED的技术进步，也为半导体行业的未来发展提供了新的方向。
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